電子車間凈化工程-對半導體、微電子、光電技術、光學儀器、PCB、LEDLCD、SMT等電子產(chǎn)品工藝要求,電子車間凈化級別從?10級,100級,1000級,萬級。凈化的程度也直接影響了電子產(chǎn)品的質(zhì)量。
電子廠凈化工程是電子工業(yè)廠房建造不可缺少的一部分,也是對生產(chǎn)環(huán)境的一種改善。
電子廠潔凈車間內(nèi)應設置局部排風罩和局部送風系統(tǒng)。當采用自然通風時,必須設有機械通風設施。
對于無塵室內(nèi)的換氣次數(shù)一般要求為:人均每小時換氣5次以上;人均每小時新風量30立方米以上;每人每小時換風量10立方米以上;每平方米允許噪聲強度85分貝以下(a計權);溫濕度波動小;光照度適宜等等。
氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風機送風→管道→凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌。
等顆粒 → 回風百葉窗→初效凈化 重復以上過程,即可達到凈化目的。
換氣次數(shù):100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。
溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。
電子凈化廠注意要點:防止灰塵、防靜電、防止負壓;
集成電路生產(chǎn)(分為光掩膜、前道工序、后道工序),顯示器生產(chǎn)(分為LCD,PDP,TFT,VFD,顯像管),硅材料 生產(chǎn)(單晶硅、多晶硅),光纖生產(chǎn),制卡業(yè),表面貼裝(SMT),分離器件生產(chǎn)(功率一、二、三級管,電容、電阻),整機組裝生產(chǎn)(機頂盒、數(shù)字投影儀、電子數(shù)碼相機),自控元器件生產(chǎn)(傳感器、執(zhí)行機構)等。微電子工業(yè)是當前對潔凈室要求較高工業(yè)潔凈業(yè)-如現(xiàn)代工業(yè)中的液晶、光纖等的生產(chǎn),同樣均有潔凈度的要求。
電子潔凈車間一般要求潔凈度在10萬級標準以上的車間,主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計算。根據(jù)潔凈度不同分為100級(小于3.5個),1000級(小于35個),10000級(小于350個),100000級(小于3500個)。
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