電子車間凈化工程-對(duì)半導(dǎo)體、微電子、光電技術(shù)、光學(xué)儀器、PCB、LEDLCD、SMT等電子產(chǎn)品工藝要求,電子車間凈化級(jí)別從?10級(jí),100級(jí),1000級(jí),萬(wàn)級(jí)。凈化的程度也直接影響了電子產(chǎn)品的質(zhì)量。
電子廠凈化工程是電子工業(yè)廠房建造不可缺少的一部分,也是對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的一種改善。
電子廠潔凈車間內(nèi)應(yīng)設(shè)置局部排風(fēng)罩和局部送風(fēng)系統(tǒng)。當(dāng)采用自然通風(fēng)時(shí),必須設(shè)有機(jī)械通風(fēng)設(shè)施。
對(duì)于無(wú)塵室內(nèi)的換氣次數(shù)一般要求為:人均每小時(shí)換氣5次以上;人均每小時(shí)新風(fēng)量30立方米以上;每人每小時(shí)換風(fēng)量10立方米以上;每平方米允許噪聲強(qiáng)度85分貝以下(a計(jì)權(quán));溫濕度波動(dòng)小;光照度適宜等等。
氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌。
等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過程,即可達(dá)到凈化目的。
換氣次數(shù):100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa
平均風(fēng)速:10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動(dòng)±2℃。
溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。
電子凈化廠注意要點(diǎn):防止灰塵、防靜電、防止負(fù)壓;
集成電路生產(chǎn)(分為光掩膜、前道工序、后道工序),顯示器生產(chǎn)(分為L(zhǎng)CD,PDP,TFT,VFD,顯像管),硅材料 生產(chǎn)(單晶硅、多晶硅),光纖生產(chǎn),制卡業(yè),表面貼裝(SMT),分離器件生產(chǎn)(功率一、二、三級(jí)管,電容、電阻),整機(jī)組裝生產(chǎn)(機(jī)頂盒、數(shù)字投影儀、電子數(shù)碼相機(jī)),自控元器件生產(chǎn)(傳感器、執(zhí)行機(jī)構(gòu))等。微電子工業(yè)是當(dāng)前對(duì)潔凈室要求較高工業(yè)潔凈業(yè)-如現(xiàn)代工業(yè)中的液晶、光纖等的生產(chǎn),同樣均有潔凈度的要求。
電子潔凈車間一般要求潔凈度在10萬(wàn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)以上的車間,主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。根據(jù)潔凈度不同分為100級(jí)(小于3.5個(gè)),1000級(jí)(小于35個(gè)),10000級(jí)(小于350個(gè)),100000級(jí)(小于3500個(gè))。
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